電子級(jí)超純水設(shè)備是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。
電子級(jí)超純水設(shè)備的工藝流程：
原水箱→增壓泵→石英砂過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→一級(jí)RO主機(jī)→一級(jí)純水箱→二級(jí)RO主機(jī)→二級(jí)純水箱→增壓泵→紫外線殺菌器→膜濾器→EDI系統(tǒng)→TOC脫除器+脫氣膜+拋光混床→終端膜濾器
電子級(jí)超純水設(shè)備組成：
1、原水箱
原水箱主要起到緩沖和調(diào)節(jié)進(jìn)水量的作用，防止進(jìn)水水量和水壓不穩(wěn)定對(duì)設(shè)備造成的損壞和影響。
2、原水泵
原水泵從原水箱取水，對(duì)水箱內(nèi)的水增壓，達(dá)到后續(xù)設(shè)備的運(yùn)行的壓力和水量的要求。
3、石英砂過(guò)濾器
石英砂過(guò)濾器中通過(guò)裝填不同粒徑的高純度的石英砂對(duì)原水中懸浮物、顆粒物及膠體等物質(zhì)進(jìn)行過(guò)濾，同時(shí)對(duì)原水中的濁度起到降低作用。
4、活性炭過(guò)濾器
活性炭過(guò)濾器系統(tǒng)是利用活性炭吸附機(jī)理，引起吸附的主要原因在于溶質(zhì)對(duì)水的疏水特性和溶質(zhì)對(duì)固體顆粒的高度親和力?；钚蕴窟^(guò)濾器能夠吸附水中的有機(jī)物，膠體和余氯等。去除各種溶解性的有機(jī)物。還能去除水中的臭味、色度、以及殘留的濁度。
5、保安過(guò)濾器
在RO裝置之前設(shè)置保安過(guò)濾器，目的是防止水中的大顆粒物進(jìn)入反滲透膜，損壞反滲透膜，確保RO的正常運(yùn)行。
6、立式高壓泵
反滲透的使用過(guò)程中，水的流向和運(yùn)動(dòng)是逆自然滲透的，要改變這種逆自然的滲透，必須給液體一個(gè)動(dòng)力，使它改變自然滲透過(guò)程中，淡水向濃水方向運(yùn)動(dòng)，鹽份向淡水方向滲透的規(guī)律，而提高這個(gè)動(dòng)力有效的措施是增加外界壓力，高壓泵為反滲透膜組提供足夠的進(jìn)水壓力，維持反滲透膜的正常運(yùn)行。
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